透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)

2021-05-08 04:36:18

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透射電子顯微鏡（TEM）是使用一束平行的高能電子束通過一片非常薄的試樣，用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。它們基本上都是由三個部分組成：電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電器系統(tǒng)。

其中電器系統(tǒng)和真空系統(tǒng)是輔助系統(tǒng)。電器系統(tǒng)包括高壓電源、透鏡電源、真空系統(tǒng)電源、控制線路電源和其它部件。

電鏡的真空系統(tǒng)用來維持鏡筒（凡是電子運行的空間）的真空度，以確保電子槍電極間絕緣，防止成像電子再鏡筒內(nèi)受氣體分子碰撞而改變運動軌跡，減小樣品污染等。

電子光學(xué)系統(tǒng)是透射電子顯微鏡結(jié)構(gòu)中核心部分，通常稱為鏡筒。鏡筒一般為直立積木式結(jié)構(gòu)，類似于標準直立的透射電學(xué)顯微鏡。在鏡筒中自上而下分別是：電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡和投影鏡，最下部是熒光屏和照相記錄系統(tǒng)。通常我們將鏡筒分為照明、成像和觀察記錄三個系統(tǒng)。電子槍和聚光鏡歸于照明系統(tǒng)，樣品室、物鏡和中間鏡是成像系統(tǒng)，熒光屏和照相記錄裝置則是成像和觀察系統(tǒng)。鏡筒的復(fù)雜程度主要取決于對透射電子顯微鏡工作性能的要求。透射電子顯微鏡的工作性能越高，其鏡筒越復(fù)雜，這主要體現(xiàn)在透鏡的數(shù)量和合軸系統(tǒng)的不同。

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