日立場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡REGULUS8200（冷場(chǎng)）

日立新型冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡Regulus8200系列是集高分辨觀(guān)察和大束流分析與一體的高端掃描電鏡.Regulus8200冷場(chǎng)掃描電鏡不僅完全秉承以往冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的全部?jī)?yōu)點(diǎn),還大幅提高了探針電流,并極大增強(qiáng)了電流的穩(wěn)定性.

1. 創(chuàng)新型冷場(chǎng)電子槍?zhuān)鞲蟾€(wěn)定，高分辨觀(guān)察和分析兼顧           
2. 大幅度提高的分辨率0.7nm@1kV、0.6nm@15kV； 
3. 超高真空發(fā)射槍和樣品室
4. 選配過(guò)濾器，可實(shí)現(xiàn)良好的成分對(duì)比度 
5. 優(yōu)異的擴(kuò)展功能，可附加多種功能附件。