微型近紅外光譜儀（Micro-NearInfraredSpectrometer,NIM）是通過光學(xué)原理對(duì)物質(zhì)的組成、含量進(jìn)行定性、定量分析的一種光學(xué)儀器。在絕對(duì)零度以上，自然界的一切物體對(duì)紅外能量都有著不同程度的吸收和輻射，因此可通過分析待測(cè)物的紅外吸收光譜來實(shí)現(xiàn)定性、定量檢測(cè)。用于物質(zhì)檢測(cè)的紅外光譜技術(shù)主要包括近紅外和中紅外兩個(gè)波段，前者一般是指800nm～2500nm范圍，后者則是2.5m～25m范圍。理論上，近紅外光譜是分子結(jié)構(gòu)中某些化學(xué)鍵能級(jí)躍遷的倍頻、合頻與差頻在短波長(zhǎng)區(qū)域的體現(xiàn)，中紅外光譜則主要是基頻在相對(duì)長(zhǎng)波區(qū)域的體現(xiàn)，因此二者存在一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系。中紅外光譜因譜峰窄、吸收強(qiáng)、特征性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)較早被應(yīng)用于分子結(jié)構(gòu)解析，近紅外光譜則因譜峰重疊而解析困難，曾經(jīng)長(zhǎng)期處于被遺忘狀態(tài)。隨著探測(cè)器、信號(hào)放大器等器件和光譜解析算法的不斷進(jìn)步，近紅外光譜技術(shù)取得了突破性發(fā)展，在化學(xué)氣體檢測(cè)、農(nóng)產(chǎn)品成分檢測(cè)等分子結(jié)構(gòu)解析相關(guān)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用近紅外檢測(cè)相比中紅外檢測(cè)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低等優(yōu)點(diǎn)，在表面污染物檢測(cè)、生物組織檢測(cè)、爆炸物探測(cè)等領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。濾光片型微型近紅外光譜儀濾光片型微型近紅外光譜儀按照濾光片類型又可分為基于可調(diào)諧濾光片型光譜儀和基于線性濾光片型光譜儀?？烧{(diào)諧濾光片型微型近紅外光譜儀本質(zhì)是法布里-珀羅干涉儀：由上下鏡和一個(gè)介質(zhì)層（諧振腔）構(gòu)成，通過對(duì)上下鏡施加靜電驅(qū)動(dòng)電壓來調(diào)節(jié)諧振腔厚度，實(shí)現(xiàn)連續(xù)可調(diào)濾波。線性濾光片型微型近紅外光譜儀的基本原理則是通過錐形腔層的厚度變化進(jìn)行快速分光。其基本元件分別為可調(diào)諧法布里-珀羅濾光片和線性漸變?yōu)V光片。如圖1(a)、(b)所示。可調(diào)諧濾光片型微型近紅外光譜儀通常使用靜電驅(qū)動(dòng)控制法-珀腔中錐形層厚度變化，靜電吸和作用使得光譜范圍非常有限，而制備腔長(zhǎng)漸變?yōu)V光片陣列是線性濾光片型微型近紅外光譜儀的技術(shù)難點(diǎn)?？傮w來說，濾光片型微型紅外光譜儀成本低，體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，但其可探測(cè)范圍有限并且分辨率較低。色散型微型近紅外光譜儀色散型微型近紅外光譜儀主要通過光柵分光，其中包括通過改變光柵角度進(jìn)行色散，并通過單元探測(cè)器依次獲取光譜不同波段信息的掃描光柵型微型近紅外光譜儀，和通過采用陣列檢測(cè)器直接獲取光柵不同波段光譜信息的陣列檢測(cè)型微型近紅外光譜儀。